Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry

Eine Sammlung der wichtigsten und nützlichsten Daten von Chemikalien und technischen Gasen, die in der Halbleiterindustrie benötigt werden! Physikalische Kenngrößen und Sicherheitsinformationen von über 270 Substanzen wurden hier in alphabetischer Reihenfolge zusammengetragen. Unter anderem finden Sie Hinweise zu chemischen Prozessen und Anwendungen, zur sicheren Handhabung der Chemikalien, zum Verhalten bei Unfällen, zur Abfallentsorgung, zu Reinheitsanforderungen und auch zu Lieferanten. Jeder Eintrag wird durch Literaturhinweise ergänzt. Mit ausführlichen Querverweisen!