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Semiconductor Wafer Bonding: Science and Technology

by Semiconductor Wafer Bonding: Science and Technology

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Description

Bonding - eine Technik zum "Verschweißen" von Halbleiter-Wafers ohne "Klebstoff" - wird in der Mikroelektronik, Energieelektronik, Mikromechanik, Optoelektronik und anderen Bereichen verbreitet eingesetzt. Dieser Band sammelt und systematisiert die in der Literatur verstreuten Informationen zum Wafer-Bonding; es finden sich beispielsweise Kapitel zum Bonding bei Raumtemperatur, zur Wärmebehandlung, zum Bonding ungleicher Materialien und strukturierter Wafers. (01/99)

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Product Details

  • Wiley-Interscience Brand
  • Dec 7, 1998 Pub Date:
  • 9780471574811 ISBN-13:
  • 0471574813 ISBN-10:
  • English Language
  • 9.69 in * 0.77 in * 6.46 in Dimensions:
  • 1 lb Weight: